单行载流子光探测器
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种单行载流子光探测器,包括衬底以及在所述衬底的顶面沿中心轴向设置的多个外延层,多个所述外延层包括吸收层,并基于对所述吸收层设置径向掺杂模式,生成目标电场。本发明提供的单行载流子光探测器,基于对吸收层设置径向掺杂模式,获得径向部分耗尽的吸收层结构,将器件内部电场改善为目标电场。能够提升载流子的运输速率,可以在不牺牲器件响应度的前提下,有效提升器件的3dB带宽,从而提高器件响应能力。
基本信息
专利标题 :
单行载流子光探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114447138A
申请号 :
CN202111539713.1
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2021-12-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄永清支华云肖朝政杜嘉薇刘凯段晓峰蔡世伟
申请人 :
北京邮电大学
申请人地址 :
北京市海淀区西土城路10号
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
乔慧
优先权 :
CN202111539713.1
主分类号 :
H01L31/105
IPC分类号 :
H01L31/105 H01L31/0304
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/105
申请日 : 20211215
申请日 : 20211215
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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