一种石英薄环多频次洗净装置
公开
摘要
本发明公开了一种石英薄环多频次洗净装置，包括装置本体，所述装置本体包括内撑于石英薄环中部的支架组件，所述支架组件两端分别设置有支撑座；装置本体还包括设置于石英薄环外部的喷淋机构，所述喷淋机构包括可沿支架组件长度方向移动的若干喷淋部，若干喷淋部依次对石英薄环进行喷淋清洗。利用支撑组件对各石英环进行内撑，配合可移动的若干喷淋部对各石英薄环进行多次清洗，显著减少石英薄环的未清洗死角面积，且无需返工处理，优化清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种石英薄环多频次洗净装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114558823A
申请号 ：
CN202111543597.0
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴然红汪金石杨军
申请人 ：
杭州大和热磁电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
郑汝珍
优先权 ：
CN202111543597.0
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B11/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
