洗净机
授权
摘要

本实用新型揭露一种洗净机,为一种针对扇出型面板级封装结构的玻璃基板进行清洗作业的洗净机,本实用新型洗净机包括一机壳、复数组压制机构、复数个边导轮、一水刀机构、一喷管机构、二刷轮机构,以及一传感器;藉此,本实用新型的洗净机主要系藉由压制机构、喷管机构与刷轮机构的硬件设计,有效使用压制机构的压制弹簧压制扇出型面板级封装结构的基板以避免翘取,再由喷管机构与刷轮机构进行基板的清洗作业,确实达到提高对基板的夹持力而避免射片与滑片造成破片的问题,以及提升清洗过程的基板整平性与均一性等主要优势。

基本信息
专利标题 :
洗净机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020143117.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-22
授权号 :
CN211088225U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
江家谊
申请人 :
亚智科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾桃园市中坜区自强三路三号
代理机构 :
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 :
赵梦雯
优先权 :
CN202020143117.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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