本发明提供了水汽浓度的控制装置和方法，所述水汽浓度的控制装置包括雾化器；还包括：液体定量设置在所述雾化器的上游，用于定量地向所述雾化器供应液态水；气体定量单元输出的定量气体和所述雾化器的出口端连通；多级控制单元，每一级控制单元包括气体定量模块、阀和依次连接的流量调整模块和切换模块；所述雾化器的出口端连通第一级控制单元中流量调整模块的进口端；每一级控制单元中，阀连通流量调整模块，气体定量模块的出口连通切换模块的出口；上一级控制单元中切换模块的一个出口端连通下一级控制单元中流量调整模块的进口端。本发明具有结构简单、浓度精确等优点。