浓度控制系统、浓度控制方法以及程序存储介质
公开
摘要
本发明为了提供相对于腔室内的气体的实际的分压而时间延迟小、得到准确的推定值、能实现比以往好的响应性及精度的分压控制的浓度控制系统，具备：流量控制装置(1)，设置在向腔室(CN)内供给气体的供给流道(SL)上，以使流过该供给流道(SL)的气体的流量成为输入的设定流量的方式进行控制；分压测定装置(2)，测定腔室内的气体的分压；观测器(3)，具备推定腔室(CN)内的气体的状态的模型(31)，该模型(31)被输入流入腔室的气体的流入流量及分压测定装置(2)的测定分压，输出腔室(CN)内的气体的推定分压；控制器(4)，基于设定分压及观测器(3)输出的腔室(CN)内的气体的推定分压，对流量控制装置(1)设定设定流量。
基本信息
专利标题 ：
浓度控制系统、浓度控制方法以及程序存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545984A
申请号 ：
CN202111314870.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
瀧尻兴太郎高宗央二郎
申请人 ：
株式会社堀场STEC
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
崔迎宾
优先权 ：
CN202111314870.2
主分类号 ：
G05D11/13
IPC分类号 ：
G05D11/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D11/00
流量比率控制入G05D21/00；湿度控制入G05D22/00；黏度控制入G05D24/00）
G05D11/02
两个或两个以上流动的流体或液态材料的比率控制
G05D11/13
以使用电装置为特征的
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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