流量控制装置、流量控制方法以及程序存储介质
公开
摘要
本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能以基本不发生时间延迟且以噪声大幅降低的形式得到流过下游侧阀的流体的流量，而且比以往提高响应性。所述流量控制装置包括：下游侧阀流量测定器(VFS)，测定作为流过下游侧阀(V2)的流体的流量的下游侧阀流量；以及观测器(3)，包括根据改变所述下游侧阀(V2)的开度的输入参数来推定所述下游侧阀流量的下游侧阀流量推定模型(31)，所述下游侧阀流量测定器(VFS)输出的所述下游侧阀流量的测定值与所述下游侧阀流量推定模型输出的所述下游侧阀流量的推定值的偏差被反馈到所述观测器(3)。
基本信息
专利标题 ：
流量控制装置、流量控制方法以及程序存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545983A
申请号 ：
CN202111319208.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
德永和弥瀧尻兴太郎
申请人 ：
株式会社堀场STEC
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李成必
优先权 ：
CN202111319208.6
主分类号 ：
G05D7/06
IPC分类号 ：
G05D7/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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