一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法
授权
摘要
本发明属于发电玻璃镀膜技术领域，公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室，所述AR膜镀制腔室连通有至少一个MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室，所述MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室沿AR膜镀制腔室内发电玻璃的移动方向依次设置；还公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。本发明可使得镀制而成的AR膜具有更好的附着力、均匀性、增透效果和光电转换效率，而且也提升了AR膜的使用寿命，同时碲化镉发电玻璃的AR膜和碲化镉薄膜均可在同一台设备上镀制，节约了设备的投入成本，也利用碲化镉高温镀膜的特点，利用余热镀制AR膜，节约了资源。
基本信息
专利标题 ：
一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113943919A
申请号 ：
CN202111561197.2
公开（公告）日 ：
2022-01-18
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN113943919B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
杨欢潘锦功傅干华孙庆华吕延坤
申请人 ：
邯郸中建材光电材料有限公司
申请人地址 ：
河北省邯郸市经济开发区和谐大街19号1号楼A座4层
代理机构 ：
成都顶峰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡庆波
优先权 ：
CN202111561197.2
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/08 C23C14/24 C23C14/54 H01L31/0216
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2022-02-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20211220
申请日 : 20211220
2022-01-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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