一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中,可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中,虽然能够获得一致的对焦结果,但是由于激光对焦系统本身的误差,激光对焦系统耦合到系统中的安装误差以及激光对焦系统波长与检测或者成像系统使用波长的差异,导致激光对焦系统认定的样品位置并非检测系统或观察系统的成像最清晰位置,因此需要设置激光对焦系统的偏移量。本发明提出了一种激光对焦成像系统,能够判断样品上表面与激光对焦系统的焦面的相对位置,同时,提出了一种自动化设置偏移量的方法。本发明具有成本低,精度高,自动化程度高的特点。

基本信息
专利标题 :
一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459736A
申请号 :
CN202111572710.8
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王智杨青庞陈雷
申请人 :
浙江大学;之江实验室
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
邱启旺
优先权 :
CN202111572710.8
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02  G06F17/15  G06T7/70  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20211221
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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