一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法。在衬底上设置2×2光开关单元波导结构，两根波导呈轴对称分布，包括两个输入端口和两个输出端口、中间为耦合区域；在耦合区域采用脉冲激光沉积方法制备得到与靶材组分一致的均匀百纳米级的Ge2Sb2Se4Te1薄膜。开关单元由覆盖在耦合区域波导之上的相变材料控制，通过切换相变材料的相态可对横电基模完成双通道选择输入和双路选通、模式切换的功能，对横磁基模则满足同侧端口输入同侧端口输出的功能，具有高消光比、尺寸小、切换速率快的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326164A
申请号 ：
CN202111573963.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张桂菊汪成根王笑笑
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陶海锋
优先权 ：
CN202111573963.7
主分类号 ：
G02F1/01
IPC分类号 ：
G02F1/01 G02B6/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/01
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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