一种抽取真空系统
实质审查的生效
摘要

本申请实施例提供一种抽取真空系统,包括:容器、真空泵、第一排气管路、前端阀门、第一气体探测器以及控制系统。容器包括真空腔和介质腔,介质腔用于盛装危险气体,真空腔与介质腔相互隔离。第一排气管路连接容器的真空腔和真空泵的入口。前端阀门设置于第一排气管路上,第一气体探测器设置于第一排气管路上且位于前端阀门沿气体流动方向的上游。当第一气体探测器的浓度信息表征的浓度值达到第一预设值,控制系统控制前端阀门关闭。本申请实施例的抽取真空系统,通过控制系统根据第一气体探测器检测第一排气管路中危险气体的浓度值,控制前端阀门的开闭,防止危险气体排入外界大气中,造成环境污染和人员危害。

基本信息
专利标题 :
一种抽取真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114352513A
申请号 :
CN202111579045.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马建吕卫星艾丽斯佳齐恩伍
申请人 :
中国原子能科学研究院
申请人地址 :
北京市房山区新镇三强路1号院
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
黄景辉
优先权 :
CN202111579045.5
主分类号 :
F04B49/22
IPC分类号 :
F04B49/22  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B49/00
不包含在F04B 1/00至F04B 47/00中或与上述组无关的机械、泵或泵送装置的控制,或安全措施
F04B49/22
靠阀门
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 49/22
申请日 : 20211222
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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