一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法,混酸体系为包含氢氟酸的已知酸组分的3‑5元强弱混酸体系,其中强酸为选自硫酸和硝酸中的至少一种,包括以下步骤:S1:用氢氧化钠滴定剂酸碱滴定混酸稀释液,通过监测电位变化获得等当点和到达等当点消耗的滴定剂用量,计算滴定剂中和的氢离子浓度;S2:对S1体系依次进行氟离子和硫酸根滴定剂滴定,获得滴定剂用量,计算混酸体系中氢氟酸和硫酸的浓度;S3:结合S1所得氢离子浓度和酸组分pka值分布,计算混酸组分含量参数;或者基于混酸组分含量参数,以S2所得氢氟酸和硫酸的浓度为准,修正氢氟酸和硫酸浓度,计算酸组分的浓度。本发明对电子级混酸检测效率及准确度均较高。

基本信息
专利标题 :
一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264769A
申请号 :
CN202111592007.3
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王磊承明忠王迎任奕宇顾玲燕
申请人 :
江阴江化微电子材料股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
代理机构 :
无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杜兴
优先权 :
CN202111592007.3
主分类号 :
G01N31/16
IPC分类号 :
G01N31/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N31/00
利用本组规定的化学方法对非生物材料的测试或分析;此类方法专用的装置
G01N31/16
利用滴定法
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 31/16
申请日 : 20211223
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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