一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺,包括连续型镀膜舱,所述连续型镀膜舱中部设置有镀膜室,所述连续型镀膜舱两侧的舱室沿镀膜室左右两侧呈对称式排布,所述连续型镀膜舱两端均开设有内外相通的基片装取门槽,所述基片架进入真空过渡舱后将两侧的基片架配合槽进行封堵,若干所述负压孔通过管道与外部设置的负压泵连通,本发明的转运架在连续型镀膜舱内部实现循环转运,在转运过程中转运架通过进出真空过渡舱从而实现转运架在负压的连续型镀膜舱与外环境之间进行切换,减小了气体抽取时间,同时两侧均作为对侧基片的取片位置,又作为新基片的上片位置,从而在一个闭环循环中实现了两次镀膜,相较于传统的镀膜方式,大大提高了镀膜效率。

基本信息
专利标题 :
一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481061A
申请号 :
CN202111606682.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
夏宁倪植森陈诚黄迎辉樊黎虎巩燕龙胡克军邵帅杨波李若尘
申请人 :
凯盛科技股份有限公司蚌埠华益分公司
申请人地址 :
安徽省蚌埠市高新区嘉和路377号
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
朱世新
优先权 :
CN202111606682.7
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/56  C23C14/08  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20211226
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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