本发明公开了一种半导体制造的尾气回收系统，包括，换热机构，用于与尾气接触进行热量交换收集热量，尾气分化加速机构，设置在换热机构之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与换热机构接触进行热量交换，换热机构包括集热结构和换热板，分化压缩结构设置在尾气管道上并设置在相邻两个换热板之间，本发明通过分化压缩结构对尾气进行分隔运输并压缩处理对尾气进行加压，使得加压后的尾气对换热板表面形成冲击，通过尾气产生的冲击避免尾气中含有的颗粒杂质粘附在换热板表面造成热交换效率下降导致热能浪费的问题，其次通过通气保障结构对尾气加压通过的路径进行疏通，保证尾气热量回收处理过程的持续进行，提高了尾气的回收处理效率。