一种石墨舟清洗工艺
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤，拆舟，使用酸洗液对石墨舟进行洗涤，酸洗液为氢氟酸和双氧水的混合溶液，HF与H2O2的配槽比例为1:2，水洗至中性，干燥，装舟和，饱和。本发明的清洗工艺能有效去除石墨舟表面的杂质，提高了石墨舟表面的洁净度，降低因石墨舟清洗不到位而导致的硅片返工比例；同时能够延长石墨舟的使用寿命，降低石墨舟的损耗；石墨舟酸洗液配比起到了促进反应的作用，缩短了清洗时间；石墨舟清洗方法工艺操作简单，清洗成本较低，适用性广。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟清洗工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114433541A
申请号 ：
CN202111614314.7
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐晓斌朱腾骏李正清潘长亮
申请人 ：
张家港博佑光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市塘桥镇兄华路7号张家港博佑光电科技有限公司
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于鹏
优先权 ：
CN202111614314.7
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/04 B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 F26B21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/02
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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