一种基于氧化锌-磷化亚铜光电探测器的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种基于氧化锌‑磷化亚铜光电探测器的制备方法，本发明首先在铜箔片表面生长磷化亚铜，然后，在磷化亚铜表面沉积铝掺杂n型氧化锌薄膜；最后在氧化锌表面沉积铝电极获得器件。本发明在铜箔表面沉积磷化亚铜和氧化锌构成的光电器件，制作方法简单，器件性能重复性高，制备器件所需原材料丰富，制备简单，成本低，对于可见光探测性能较好。
基本信息
专利标题 ：
一种基于氧化锌-磷化亚铜光电探测器的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114284384A
申请号 ：
CN202111617503.X
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彭雪郭欣蔡庆锋陈蔓汝吕燕飞席俊华赵士超
申请人 ：
杭州电子科技大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
代理机构 ：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨舟涛
优先权 ：
CN202111617503.X
主分类号 ：
H01L31/109
IPC分类号 ：
H01L31/109 H01L31/0224 H01L31/0336 H01L31/18
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/109
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
