本发明公开了一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法，属于半导体废气处理设备技术领域，启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动，通过橡胶清理杆进行清理，通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动，并通过联动实现带动主动工型轮运动，通过主动工型轮带动从动工型轮运动，进而在废气导入管内壁移动清理，对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位，通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位，通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。