一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法,属于半导体废气处理设备技术领域,启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动,通过橡胶清理杆进行清理,通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动,并通过联动实现带动主动工型轮运动,通过主动工型轮带动从动工型轮运动,进而在废气导入管内壁移动清理,对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节,并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位,通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位,通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。
基本信息
专利标题 :
一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114345104A
申请号 :
CN202111619746.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
崔汉宽
申请人 :
崔汉宽
申请人地址 :
上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
代理机构 :
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 :
陆中丹
优先权 :
CN202111619746.7
主分类号 :
B01D53/78
IPC分类号 :
B01D53/78 B01D53/42 B01D53/40 B01D53/26 B08B9/047
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法;为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 53/78
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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