一种半导体废气处理设备超小型内置水汽分离装置
授权
摘要
本实用新型涉及废气处理技术领域，公开了一种半导体废气处理设备超小型内置水汽分离装置，包括水汽分离装置，所述水汽分离装置的上端固定设有上端板，所述水汽分离装置的下端固定设有下端板，所述水汽分离装置的内部设有内腔体，所述内腔体的底部固定设有底座，所述内腔体的顶部内侧端固定分布有斜板，所述水汽分离装置的一侧固定设有进气口，所述水汽分离装置的另一侧固定设有排气口，所述底座的侧部设有排水口。该半导体废气处理设备超小型内置水汽分离装置，通过在水汽分离装置内部设置的内腔体，保证水汽分离效果的同时，将水汽分离融入了腔体内部，解决了废气处理设备体积缩小的需求，水雾通过装置时，气流旋转，快速排水。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体废气处理设备超小型内置水汽分离装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123294709.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-26
授权号 ：
CN216726210U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
崔汉博崔汉宽
申请人 ：
上海高生集成电路设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
代理机构 ：
上海老虎专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
葛瑛
优先权 ：
CN202123294709.1
主分类号 ：
B01D45/12
IPC分类号 ：
B01D45/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D45/00
通过重力、惯性或离心力从气体或蒸气中分离弥散的粒子
B01D45/12
利用离心力
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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