一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备及处理方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备，包括放置在放置架上的氧化反应罐、废液聚集箱和雾化罐，所述氧化反应罐上设有废气进气口和氧气进气口，所述氧化反应罐与废液聚集箱、废液聚集箱与雾化罐均通过废气出气管连接，且连接处均设有密封圈，避免废气泄露；所述雾化罐上设有出气口，且所述雾化罐通过进水管与水箱连接；所述废液聚集箱设有出水口，所述出水口上安装有手动阀，手动阀正下方置有接水桶。还包括水汽分离装置和液面检测装置，能够分离废气中携带的无法进行氧化反应的废水。
基本信息
专利标题 ：
一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备及处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114345036A
申请号 ：
CN202210148791.7
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-02-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔汉博崔汉宽
申请人 ：
崔汉博
申请人地址 ：
上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
代理机构 ：
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 ：
陆中丹
优先权 ：
CN202210148791.7
主分类号 ：
B01D46/24
IPC分类号 ：
B01D46/24 B01D53/30 F23G7/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/24
采用刚性空心滤体的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 46/24
申请日 : 20220218
申请日 : 20220218
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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