本发明公开了一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法，该识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓；底仓的顶部设有连接板，连接板的顶部设有紫外线仓，连接板中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器和第二压力传感器，连接板中间位置处的两端设有引导板，连接板的一端面设有辅助移动组件，连接板远离辅助移动组件一端的一侧设有传输组件，底仓内部底部的一端设有检测组件；本发明通过红外线影像扫描仪上的红外线灯对mask上照射，照射成的图像将会传递给红外线影像扫描仪，若图像中显示mask有裂纹，则红外线影像扫描仪将会把图像传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，若正常则不用传递。