一种等离子体反应器
公开
摘要
本发明提供一种等离子体反应器，包括反应器腔室，所述反应器腔室设有第一抽气环、第二抽气环、喷头面板和加热器；所述喷头面板用于向所述反应器腔室喷洒等离子体；所述第一抽气环与所述第二抽气环互相配合；所述第二抽气环与所述加热器互相配合；所述第二抽气环开设有通孔，所述通孔的数量为若干个，所述通孔贯穿所述第二抽气环；所述加热器用于提供等离子体反应的温度条件。该等离子体反应器用于简化加工过程，消除加工死角，节约加工成本，便于更换工艺工况，提升抽气结构的利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子体反应器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300336A
申请号 ：
CN202111632371.8
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王燚陈新益吴凤丽李培培张亚梅
申请人 ：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区水家900号
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202111632371.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
