一种高致密、细晶粒钼钽合金及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种钼钽合金、其制备方法，以及由该钼钽合金制成的靶材。基于钼钽合金100wt％的总重量，所述钼钽合金中的钽的含量为5wt％，其余为钼以及不可避免的杂质，其中，所述钼钽合金的相对密度为98％～99.60％；维氏硬度为220～360HV0.5；晶粒大小为1～11μm。根据本发明的钼钽合金具有高致密、细晶粒、组织分布均匀，非常适合于制备溅射靶材。
基本信息
专利标题 ：
一种高致密、细晶粒钼钽合金及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318101A
申请号 ：
CN202111634243.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张久兴刘大伟黄蕾潘亚飞杨新宇王玥皓农滨荣吴镇旺
申请人 ：
合肥工业大学;安徽尚欣晶工新材料科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区屯溪路193号
代理机构 ：
北京山允知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
胡冰
优先权 ：
CN202111634243.7
主分类号 ：
C22C27/04
IPC分类号 ：
C22C27/04 C22C1/04 C23C14/18 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C22
冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理
C22C
合金
C22C27/00
铼或未包括在C22C14/00或C22C16/00组中的难熔金属基合金
C22C27/04
钨或钼基合金
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C22C 27/04
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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