一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺
实质审查的生效
摘要
本申请涉及光刻机的技术领域，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺，其包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所述螺纹管位于所述放置槽内；还包括顶塞机构，所述顶塞机构包括顶塞块，所述顶塞块设置在所述放置槽内，所述螺纹管抵触所述顶塞块。本申请具有提高产品质量的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371603A
申请号 ：
CN202111640578.X
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李方武肖安林肖安涛李文浩
申请人 ：
济南鑫德石通精密机械有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市商河县经济开发区科源路68号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111640578.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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