一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z=186、262、431、281、393的特征离子碎片峰；通过比对提取离子色谱图中各组分的保留时间和质谱图，鉴别鎓盐类光致产酸剂。本申请采用GC‑MS方法对鎓盐光致产酸剂进行鉴定，满足微量分析，鉴定精准、判断快速。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114414711A
申请号 ：
CN202111647566.X
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高剑琴胡小娜李秋荣纪爱亮鲁代仁董栋张宁
申请人 ：
北京彤程创展科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
李爱民
优先权 ：
CN202111647566.X
主分类号 ：
G01N30/06
IPC分类号 ：
G01N30/06 G01N30/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N30/00
利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料
G01N30/02
柱色谱法
G01N30/04
待分析样品的制备或注入
G01N30/06
制备
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 30/06
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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