一类由苯酚衍生的光致产酸剂及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一类由苯酚衍生的光致产酸剂及其制备方法和应用，属于化学合成及光刻材料领域。该光致产酸剂为由桥碳脂肪环金刚烷取代苯酚为刚性结构，链接柔性碳链的多氟磺酸根的硫/碘鎓盐类光致产酸剂。特别涉及式(I)所示结构的光致产酸剂，该化合物的原料简单易得、合成路线简单，便于制备。本发明所合成的磺酸盐阴离子具有较大体积，引入了金刚烷结构形成的光致产酸剂与单独的苯酚取代结构相比，具有了更大的分子量，且桥碳脂肪环的引入提高了光致产酸剂的含碳量，增加抗蚀能力。同时，大分子量的光致产酸剂在其参与的光刻胶的光刻过程中可进一步降低光生酸的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率。。
基本信息
专利标题 ：
一类由苯酚衍生的光致产酸剂及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114409575A
申请号 ：
CN202111660914.7
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金明王永辉
申请人 ：
同济大学
申请人地址 ：
上海市杨浦区四平路1239号
代理机构 ：
上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
叶凤
优先权 ：
CN202111660914.7
主分类号 ：
C07C309/11
IPC分类号 ：
C07C309/11 C07C303/22 G03F7/004
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07C
无环或碳环化合物
C07C309/00
磺酸；其卤化物、酯或酐
C07C309/01
磺酸
C07C309/02
含有连接非环碳原子的磺基
C07C309/03
无环饱和碳架的
C07C309/07
含有连接碳架的氧原子
C07C309/09
含有连接碳架的醚化的羟基
C07C309/11
至少1个醚化的羟基的氧原子进一步连接六元芳环的碳原子
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C07C 309/11
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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