能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
授权
摘要
本发明公开一种能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂，具有如下通式(A)所示结构。该光产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm的活性能量射线具有高灵敏度、溶解度高且耐热性优异。
基本信息
专利标题 ：
能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112558409A
申请号 ：
CN201910908573.7
公开（公告）日 ：
2021-03-26
申请日 ：
2019-09-25
授权号 ：
CN112558409B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
钱晓春胡春青龚艳刘葛
申请人 ：
常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园
代理机构 ：
北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘子文
优先权 ：
CN201910908573.7
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 C09D11/03 C09D11/38 C09D7/63 C07D209/48 C07D403/04 C07D401/04 C07D209/86 C07D409/04 C07D417/04 C07D413/04 C07D209/88
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
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G03F
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G03F7/00
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G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2021-04-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20190925
申请日 : 20190925
2021-03-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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