高感光度酸硬化抗光蚀剂
专利申请的视为撤回
摘要
与其中所含蜜胺树脂作为交联剂的已知抗光蚀剂相比，按照平版印刷渐函数所测定的本文所述的抗光蚀剂的感光性有所提高。与已知的抗光蚀剂相比，这些抗光蚀剂中的蜜胺树脂含有较高百分比的六甲氧基甲基蜜胺单体。
基本信息
专利标题 ：
高感光度酸硬化抗光蚀剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1048605A
申请号 ：
CN90103394.4
公开（公告）日 ：
1991-01-16
申请日 ：
1990-07-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
卡伦·安·格拉齐亚诺伦纳德·爱德华·伯根罗伯特·詹姆斯·奥尔森苏珊·伊丽莎白·安德森-麦金纳
申请人 ：
罗姆和哈斯公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN90103394.4
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
1997-04-16 ：
专利申请的视为撤回
1992-10-21 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1991-01-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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