一种光致抗蚀剂
授权
摘要
本发明提供了一种光致抗蚀剂,用于PCB、FPC、HDI板、铝箔和复合金属板材的线路制作。尤其是光致抗蚀剂中含有1~20重量份的聚合物组分(A),该聚合物组分(A)为聚碳酸酯(A0)、聚碳酸酯丙烯酸酯(A1)、聚碳酸酯甲基丙烯酸酯(A2)中的至少一种;还包括40~70重量份的线性含羧基(甲基)丙烯酸酯粘合剂(B),0.01~3.0份的流平剂(C),5~20重量份的乙烯基丙烯酸酯类光固化单体(D),0.5~2.0重量份自由基引发剂(E)和0.01~2.0份的染料(F)。本发明在满足光致抗蚀剂基本性能的前提下,可以降低光致抗蚀剂层的厚度。
基本信息
专利标题 :
一种光致抗蚀剂
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112578633A
申请号 :
CN202011382480.4
公开(公告)日 :
2021-03-30
申请日 :
2020-11-30
授权号 :
CN112578633B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
杜永杰彭威杨卫国邓晓明
申请人 :
珠海市能动科技光学产业有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号
代理机构 :
佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
颜春艳
优先权 :
CN202011382480.4
主分类号 :
G03F7/004
IPC分类号 :
G03F7/004 G03F7/027
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-04-16 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20201130
申请日 : 20201130
2021-03-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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