正型干膜光致抗蚀剂

专利权的终止

摘要

正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的热固性正型光致抗蚀剂树脂层。所述正型光致抗蚀剂树脂层包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物和灵敏度增强剂。所述载体膜具有抑制缺陷结构如鱼眼的形成的表面粗糙度。本发明克服了加工的低效率和由旋涂光致抗蚀剂的技术导致的缺陷。

基本信息

专利标题：

正型干膜光致抗蚀剂

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101073035A

申请号：

CN200580042323.6

公开（公告）日：

2007-11-14

申请日：

2005-12-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金炳基朴世炯朴钟旼白圣寅

申请人：

可隆株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王旭

优先权：

CN200580042323.6

主分类号：

G03F7/022

IPC分类号：

G03F7/022

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/004

感光材料

G03F7/022

苯醌重氮

法律状态

2020-11-13 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/022
申请日 : 20051207
授权公告日 : 20121128
终止日期 : 20191207

2012-11-28 ：

授权

2008-01-09 ：

实质审查的生效

2007-11-14 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

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2、

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