废光致抗蚀剂再生利用装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种废光致抗蚀剂再生利用装置，包括依次相连的剥离装置、膜分离器、蒸馏罐、浓度调和罐和输出罐；所述浓度调和罐的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐、烷胺醇贮存槽和原料罐；所述剥离装置包括剥离槽和至少一个过滤器；所述剥离槽通过阀门和管路配合后与过滤器形成循环回路，剥离槽的过滤液输出口连接至剥离装置的输入口。本实用新型可以实现光致抗蚀剂再生利用，降低了企业生产成本，减少大量废液所造成的环境污染。
基本信息
专利标题 ：
废光致抗蚀剂再生利用装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122181083.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-09
授权号 ：
CN216404099U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
殷晓飞蔡璐董成朱杨杨刘彬
申请人 ：
常州少伯环保材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区罗溪镇旺田路28号
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙丽
优先权 ：
CN202122181083.7
主分类号 ：
C02F9/10
IPC分类号 ：
C02F9/10 C02F1/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/08
至少有一个物理处理步骤
C02F9/10
热处理
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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