光致抗蚀剂去除剂
公开
摘要

公开了清洁组合物及其使用方法,其中所述组合物包含一种或多种烷醇胺、一种或多种醚醇溶剂或含芳族醇、一种或多种腐蚀抑制剂及任选地一种或多种第二溶剂。

基本信息
专利标题 :
光致抗蚀剂去除剂
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114502708A
申请号 :
CN202080068645.2
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2020-09-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曹远美M·费尼斯王莉莉孙来生吴爱萍
申请人 :
弗萨姆材料美国有限责任公司
申请人地址 :
美国亚利桑那州
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
吴亦华
优先权 :
CN202080068645.2
主分类号 :
C11D7/10
IPC分类号 :
C11D7/10  C11D7/26  C11D7/32  C11D7/50  C11D7/60  C11D11/00  G03F7/42  H01L21/311  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛
C11D
洗涤剂组合物;用单一物质作为洗涤剂;皂或制皂;树脂皂;甘油的回收
C11D7/00
主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物
C11D7/02
无机化合物
C11D7/04
水溶性化合物
C11D7/10
法律状态
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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