一种干膜光致抗蚀剂回收用皂化装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种干膜光致抗蚀剂回收用皂化装置,包括箱体,所述箱体的一侧活动卡接有壳体,所述壳体的前端内部两侧均固定连接有卡接槽,所述卡接槽的一端活动卡接有卡块,所述卡块的一端固定连接有滤板,所述滤板的一端螺纹连接有第一管道,箱体的内部设置有搅拌杆。本实用新型中,当在进行皂化反应时,需要对其进行水浴加热,但是现在的加热方式使用酒精灯,比较落后,无法控制温度,在基座的内部设置有电动滑轨,电动滑轨的表面滑动连接有滑块,滑块的中间位置设置有电阻丝,启动电动按钮,使得滑块在电动滑轨上滑动,控制电阻丝上温度,对箱体进行加热,箱体受热也更加均匀,方便实用,自动化较高,值得大力推广。

基本信息
专利标题 :
一种干膜光致抗蚀剂回收用皂化装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122413461.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-08
授权号 :
CN216411864U
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
殷晓飞蔡璐李智朱杨杨
申请人 :
常州少伯环保材料有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区罗溪镇旺田路28号
代理机构 :
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙丽
优先权 :
CN202122413461.X
主分类号 :
G03F7/42
IPC分类号 :
G03F7/42  H05B3/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2022-04-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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