一种激光直接成像设备功率控制方法、系统及相关设备
实质审查的生效
摘要

本发明实施例提供了一种激光直接成像设备功率控制方法、系统及相关设备,用于提高激光成像精度。本发明实施例方法包括:动态采集各颗激光器的光斑特征数据;将所述光斑特征数据与预设的特征数据库进行匹配得到各颗激光器的当前输出功率,所述特征数据库中保存有光斑特征数据与输出功率的映射关系;判断各颗激光器的当前输出功率与预设功率的差异是否超过预设阈值,若超过预设阈值,则调整对应激光器的驱动功率,以使得各颗激光器的当前输出功率与预设功率的差异小于预设阈值。

基本信息
专利标题 :
一种激光直接成像设备功率控制方法、系统及相关设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114326326A
申请号 :
CN202111651138.4
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈乃奇胡学艳
申请人 :
深圳市先地图像科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路西湾智园A3栋1层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111651138.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G06V10/74  G06K9/62  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20211230
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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