一种基于MEMS光栅反射镜的光谱成像系统及方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种基于MEMS光栅反射镜的光谱成像系统及方法,涉及光谱成像技术领域,本系统包括目标、成像子系统、DMD工作面、准直子系统、MEMS光栅反射镜工作面和探测器工作面;所述DMD工作面中每个所述微镜扫描单元处于偏转工作状态时将对应列的所述目标像反射至所述准直子系统中进行准直,得到的平行光入射到所述MEMS光栅反射镜工作面上进行分光;通过改变所述MEMS光栅反射镜工作面的偏转角度,使得经过MEMS光栅反射镜分光且反射得到的色散光谱入射至所述探测器工作面的相同区域。本系统能够解决色散光谱偏移,以及基于DMD的扫描式光谱成像系统中过度依赖大长宽比探测器面型、集成化水平不高的问题。

基本信息
专利标题 :
一种基于MEMS光栅反射镜的光谱成像系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485936A
申请号 :
CN202111659767.1
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
虞益挺苏扬董雪石颖超
申请人 :
西北工业大学宁波研究院
申请人地址 :
浙江省宁波市高新区清逸路218弄
代理机构 :
宁波甬致专利代理有限公司
代理人 :
袁波
优先权 :
CN202111659767.1
主分类号 :
G01J3/28
IPC分类号 :
G01J3/28  G01J3/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色
G01J3/28
光谱测试
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 3/28
申请日 : 20211231
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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