一种光谱共焦位移传感探头和传感器
实质审查的生效
摘要

本申请公开了一种光谱共焦位移传感探头和传感器,包括准直透镜,用于消除进入光谱共焦位移传感探头的光束的色差并准直光束;与准直透镜相对设置的超表面透镜,用于聚焦准直后光束并使聚焦后光束在光轴方向上发生色散;超表面透镜包括衬底,及设于衬底的第一表面和/或第二表面的多个微结构,多个微结构的高度相等,且衬底和微结构中至少微结构采用半导体工艺制备;第一表面为衬底与准直透镜相对的表面,第二表面与第一表面相背。探头只需设置一个超表面透镜和一个准直透镜即可,结构简单,且表面透镜中所有微结构的高度相等,进一步简化探头结构;衬底和微结构均采用半导体工艺制备,所以可以采用半导体工艺大规模生产,降低成本。

基本信息
专利标题 :
一种光谱共焦位移传感探头和传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353668A
申请号 :
CN202111666890.6
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李君宇赖芸王丹虞传庆王鹏
申请人 :
烟台睿创微纳技术股份有限公司;睿创微纳(无锡)技术有限公司
申请人地址 :
山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
薛晨光
优先权 :
CN202111666890.6
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20211230
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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