本发明公开了一种电感式位移传感器的探头、探头线圈激励方法及电感式位移传感器，所述探头包括：多个检测线圈、以及设于每个检测线圈之间的网孔屏蔽罩，检测线圈与网孔屏蔽罩之间设有绝缘距离d。本发明的电感式位移传感器的探头，内部设置有多个检测线圈，并通过网孔屏蔽罩将每个检测线圈都隔离，可以有效的减小检测线圈之间的距离，同时消除了检测线圈之间的信号干扰，且检测线圈与网孔屏蔽罩之间都设有绝缘距离d，避免网孔屏蔽罩影响检测线圈的测量量程，本发明的电感式位移传感器的探头，可以在减小探头检测面面积的同时实现多个检测线圈冗余，同时不会影响检测线圈的测量量程，极大的提升了电感式位移传感器的探头的可靠性和稳定性。