本发明公开了一种AOI压痕检测系统及方法，包括：壳体、分光调节按钮、偏振调节按钮、TDI相机以及DIC棱镜；DIC棱镜包括第一棱镜以及第二棱镜；TDI相机以及DIC棱镜间隔设置在壳体内；分光调节按钮与DIC棱镜连接，用于调节DIC棱镜与TDI相机之间的间距；偏振调节按钮与第一棱镜、第二棱镜之中的至少一个连接，用于调节第一棱镜和第二棱镜之间的间距。现有压痕检测技术，主要存在体积大、成本高、效率低、成像不清晰、无法灵活调节等缺陷，而本发明可实现灵活调节，利用棱镜厚度微小的变化引起光程差的微小变化，产生更优的干涉效果，进而实现更好的用户观测体验，有助于进行更加高精度的定量分析。