本发明公开了一种臭氧污染溯源方法，可以实现臭氧污染的实时自动化监控，不仅能够降低人工采样的劳动强度，而且能够提高臭氧污染溯源的效率，并且兼具数据实际监测和数值理论分析的多项优点，有效提升了臭氧污染溯源的科学性和高效性，更大大提高了臭氧污染溯源的可操作性，以简便科学的方法达到最快的溯源效果，高效、快速地筛选出臭氧污染高值的成因，可以很好地适用于区域或城市自动空气站点臭氧高值的成因分析，适用于工程应用。