本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。