一种自动光学检测设备及其检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种自动光学检测设备,多用于半导体领域。包括机架,机架上设有第一检测模组、第二检测模组和搬运机构;第一检测模组为单一检测模组,采用一套第一对位模组进行一种光学检测项目的检测;第二检测模组为复合检测模组,采用一套第二对位模组进行多种光学检测项目的检测;第一检测模组与第二检测模组的数量比值与检测时间比值呈正相关;机架上还设有上料位和下料位,搬运机构将待检测产品从上料位搬运至第一检测模组或第二检测模组,从第一检测模组或第二检测模组搬运至下料位。本发明的自动光学检测设备和检测方法可以在同一个检测设备上完成多种光学检测项目的检测,可一次性完成分等,还可以大大缩短整个检测流程的节拍时间。
基本信息
专利标题 :
一种自动光学检测设备及其检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114428056A
申请号 :
CN202111677696.8
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
肖治祥王宏丽朱涛
申请人 :
苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞苇路668号
代理机构 :
江苏坤象律师事务所
代理人 :
赵新民
优先权 :
CN202111677696.8
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/01
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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