一种氮氧检测传感器芯片
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种氮氧检测传感器芯片。该传感器芯片由四层基片叠压而成,从下至上依次包括第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片,四层基片材料均为氧化锆;第一层基片表面印刷有蛇形加热电极;在第二层基片底部印刷有覆盖加热电极的绝缘层,在顶部测试端印刷有电容电极(+);第三层基片中依次包括第一扩散障、第一空腔、第二扩散障、第二空腔;在第四层基片底部对应于第一空腔的位置印刷有电容电极(‑),在对应于第二空腔位置印刷有测试电极(‑);在第四层基片顶部印刷测试电极(+),该测试电极(+)顶部覆盖有多孔保护层。本发明简化了氮氧检测传感器芯片的结构,优化了测试回路,避免了贵金属Au的使用。

基本信息
专利标题 :
一种氮氧检测传感器芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114527181A
申请号 :
CN202111680284.X
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张晓崔建东杨志民
申请人 :
有研科技集团有限公司
申请人地址 :
北京市西城区新外大街2号
代理机构 :
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 :
刘秀青
优先权 :
CN202111680284.X
主分类号 :
G01N27/407
IPC分类号 :
G01N27/407  G01N27/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量;用电解或电泳法
G01N27/403
电池和电极组件
G01N27/406
具有固体电解质的电池和探头
G01N27/407
用于测试或分析气体
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/407
申请日 : 20211230
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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