烘烤装置
授权
摘要
本实用新型提供一种烘烤装置，用于对基板进行烘烤，烘烤装置包括：加热板、支撑部和检测单元，支撑部和检测单元均设置在加热板上，加热板用于对支撑在支撑部上的基板进行烘烤，检测单元包括至少一个检测传感器，检测传感器包括光电发射器和光电接收器，光电发射器具有光线发射端，光线发射端用于发射检测光线，光电接收器具有光线接收端，光线接收端用于接收光线发射端发出的检测光线；光线发射端的位置和光线接收端的位置均与基板边缘对应，以使检测传感器形成对基板的支撑姿态进行检测的检测光路。本实用新型能够及时发现烘烤过程中基板的姿态异常，避免了基板没有均匀烘烤就流入后续制程的情况，极大地提高了基板的良品率。
基本信息
专利标题 ：
烘烤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120852981.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-23
授权号 ：
CN216351769U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
邵博蒋雷黄学勇慕绍帅谢超段乐乐敬启毓
申请人 ：
京东方科技集团股份有限公司;成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN202120852981.8
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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