一种等离子刻蚀机排气装置
授权
摘要
本实用新型提供一种等离子刻蚀机排气装置，包括排气主体；所述排气主体设置为圆筒形结构，且排气主体底部固定设置有过滤机构；所述排气主体顶部固定设置有辅助机构，且排气主体内部转动设置有转动机构；所述排气主体顶部固定设置有排气机构；所述辅助机构顶部固定设置有进气装置；通过设置有液泵和连接管以及横管和喷头，实现了将过滤液进行雾化的效果，起到了使过滤液充分与尾气进行反应净化的作用；利用锥形齿轮A配合转动轴顶端锥形齿轮，达到了带动固定板以及转动轴转动的目的，实现了使排气主体内部气体滚动的效果；起到了加快净化效率的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀机排气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122025524.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-26
授权号 ：
CN216149412U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
程书萌刘婷婷
申请人 ：
苏州芯德瑞思电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区泾茂路289号院内南一楼一层东边
代理机构 ：
北京华际知识产权代理有限公司
代理人 ：
张强
优先权 ：
CN202122025524.4
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D46/12 B01D46/60 B01D46/88 H01J37/32 B05B9/04 B05B15/40
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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