一种肖特基芯片加工用清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种肖特基芯片加工用清洗装置，包括支架、清洗仓、废液仓、工作台、清洗液仓、清洗水泵、喷液管和升降气缸，所述工作台设于支架内壁底面上，所述升降气缸设于支架内上壁下，所述清洗仓设于升降气缸和工作台之间，所述废液仓设于支架内壁底面上且连接于清洗仓内，所述清洗液仓设于支架内壁底面上，所述清洗水泵设于清洗液仓顶部且连接于清洗液仓内，所述喷液管一端设于清洗仓内，所述喷液管另一端连接于清洗水泵上。本实用新型属于芯片加工技术领域，具体是指一种通过抽气泵和过滤管，将清洗仓内空气中漂浮的杂质清除，避免杂质粘附芯片，影响芯片质量的肖特基芯片加工用清洗装置。
基本信息
专利标题 ：
一种肖特基芯片加工用清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122062451.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-30
授权号 ：
CN216574406U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
黄赛琴黄福仁陈轮兴
申请人 ：
福建安特微电子有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3555号
代理机构 ：
深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈映辉
优先权 ：
CN202122062451.6
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00 B01D46/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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