本实用新型公开了一种多晶硅清洗烘干一体设备，包括清洗装置、微波复合干燥系统和电控系统；微波复合干燥系统位于清洗装置的输送后端，电控系统分别与清洗装置和微波复合干燥系统电连接；微波复合干燥系统包括进料物料线、出料物料线、微波复合干燥机和冷却组件；进料物料线和出料物料线相互平行设置，微波复合干燥机和冷却组件均设置有若干台，若干微波复合干燥机并联设置在进料物料线和出料物料线之间，若干冷却组件与若干微波复合干燥机一一对应，且与微波复合干燥机4连接。微波加热直接作用于物料与水分子，无需传热介质，避免介质带来其它污染源；洁净热风引入，可有效平衡硅料温度，带走蒸发水蒸汽。