一种除尘整合设备，适用于对晶圆进行除尘，包含壳体及功能模块。该壳体界定出流道空间，该流道空间具有与外界连通的喷口、自该喷口依序分布的集气区、径缩区及排气区，且该径缩区的口径小于该集气区与该排气区的口径。该功能模块包括用于导入气体至该集气区的气体供应单元，以及用于产生多个离子的离子供应单元与用于将气体导出壳体外的排气单元的其中至少一者。本案将该气体供应单元，及该离子供应单元与该排气单元的至少一者整合于该壳体内，而可同时进行喷气与静电除尘及/或排气功能，以减少整体的配置空间，降低架设成本。