等离子清洁设备及其整合系统
专利权的视为放弃
摘要
本发明公开了一种具排除有机及氧化污染且能够有效散热、清除废气功能的等离子清洁设备，其包括：电极部、放热部、原料气体导入部、原料气体供给导引部、及吸排气部。该放热部具有接触于该电极部一侧的突出块放热板以及一与该突出块放热板配合的放热墙，通过该放热部与该电极部的接触，以进行该电极部的散热。而且，该吸排气部上端具有与外部相通的第一气体通路，该吸排气部下端具有与外部相通的第二气体通路，通过该第一气体通路与该第二气体通路的配合，以产生用于散热的排气功能、用于排除废气的吸气功能或兼具上述两者的功能。
基本信息
专利标题 ：
等离子清洁设备及其整合系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1803322A
申请号 ：
CN200510120098.5
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
全炳俊朴钟成
申请人 ：
昶驎科技股份有限公司;普罗尼克司股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省桃园县
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN200510120098.5
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 H05H1/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2009-06-24 ：
专利权的视为放弃
2006-09-13 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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