等离子加工设备

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种等离子加工设备，其防止了空气在一观察口中产生旋涡，所述观察口用于对处于真空状态的加工室的内部进行观察。所述设备包括：多个孔，其形成在加工室的相对壁上平行于加工室内的基片的位置处，使得通过所述孔对加工室内部的基片进行观察；一个位于每个孔的外壁上的观察口；以及一个盖板，其位于加工室的内壁上，同时位于与相关的观察口隔开的每个孔的内壁上。所述盖板具有多个贯通的、彼此以预定间隔隔开的开门。

基本信息

专利标题：

等离子加工设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101256944A

申请号：

CN200810084545.X

公开（公告）日：

2008-09-03

申请日：

2006-02-05

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李荣钟崔浚泳孙亨圭

申请人：

爱德牌工程有限公司

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

章社杲

优先权：

CN200810084545.X

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/205 H01L21/3065 H01L21/67 C23C16/44 C23F4/00 H05H1/00 H01J37/32 B01J3/03