等离子加工设备
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种等离子加工设备，其使用等离子体对一个基片进行预定加工，所述等离子体产生于一个限定在所述等离子加工设备内且保持在真空状态下的腔体。所述的等离子加工设备包括一个冷却器，以有效地冷却一个包括在所述等离子加工设备内的电极单元，从而对大面积的基片进行均匀地加工。
基本信息
专利标题 ：
等离子加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1812682A
申请号 ：
CN200610003218.8
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李荣钟崔浚泳孙亨圭李祯彬李昌根高英培金春植
申请人 ：
爱德牌工程有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱登河
优先权 ：
CN200610003218.8
主分类号 ：
H05H1/28
IPC分类号 ：
H05H1/28 H01J37/32 H01L21/00
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法律状态
2020-04-24 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20190127
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20190127
2009-01-14 ：
授权
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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