等离子加工设备
授权
摘要
一种等离子加工设备，其在真空状态的腔室内产生等离子体从而利用该等离子体处理放置在该腔室内的基片，该等离子加工设备包括一个环绕于设置在该等离子加工设备内的电极周围的等离子体防护单元，用来阻止电极暴露于等离子体中。
基本信息
专利标题 ：
等离子加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1812685A
申请号 ：
CN200610003211.6
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李荣钟崔浚泳郑然周孙亨圭金春植郑元基朴希侦
申请人 ：
爱德牌工程有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱登河
优先权 ：
CN200610003211.6
主分类号 ：
H05H1/34
IPC分类号 ：
H05H1/34 H01J37/32 H01L21/00
法律状态
2008-08-06 ：
授权
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100409726C.PDF
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2、
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