等离子加工设备
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种等离子加工设备，其防止了空气在一观察口中产生旋涡，所述观察口用于对处于真空状态的加工室的内部进行观察。所述设备包括：多个孔，其形成在加工室的相对壁上平行于加工室内的基片的位置处，使得通过所述孔对加工室内部的基片进行观察；一个位于每个孔的外壁上的观察口；以及一个盖板，其位于加工室的内壁上，同时位于与相关的观察口隔开的每个孔的内壁上。所述盖板具有多个贯通的、彼此以预定间隔隔开的开口。
基本信息
专利标题 ：
等离子加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1815689A
申请号 ：
CN200610003344.3
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2006-02-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李荣钟崔浚泳孙亨圭
申请人 ：
爱德牌工程有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱登河
优先权 ：
CN200610003344.3
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/205 H01L21/3065 H01L21/67 C23C16/44 C23C14/56 C23F1/12 C23F4/00 H05H1/00 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2017-03-29 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101709358956
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006100033443
申请日 : 20060205
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20160205
号牌文件序号 : 101709358956
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006100033443
申请日 : 20060205
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20160205
2009-01-14 ：
授权
2006-10-04 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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